一．目的

制定一個廠房環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測規(guī)程，規(guī)范公用工程車間及生產(chǎn)車間、倉庫對于相應(yīng)廠房環(huán)境的部分參數(shù)監(jiān)測工作。

二．適用范圍

適用于公用工程車間、各生產(chǎn)車間及倉庫針對潔凈室（區(qū)）中溫濕度、壓差、功能間換氣次數(shù)、單向流（包括局部百級層流罩、FFU、潔凈層流車等）風(fēng)速、流型、高效過濾器泄漏、懸浮粒子數(shù)（**于生產(chǎn)用潔凈廠房）、用于潔凈廠房**的臭氧濃度以及生產(chǎn)廠房噪聲、照度的日常檢測或測試。

三．責(zé)任者

公用工程空調(diào)機長、班長、車間主任、各車間兼職檢測員。

四．工作程序

1.檢測內(nèi)容及頻次

1.1.潔凈室（區(qū)）溫濕度、壓差監(jiān)測，生產(chǎn)狀態(tài)下每班監(jiān)測兩次；采取集中監(jiān)控的系統(tǒng)，連續(xù)監(jiān)測溫濕度、壓差，每四小時記錄一次；針對無集中監(jiān)控系統(tǒng)、非生產(chǎn)狀態(tài)下的車間，監(jiān)控空調(diào)機組的總送風(fēng)、總回風(fēng)、送風(fēng)正壓，上、下午各記錄一次。

1.2.潔凈室（區(qū)）功能間換氣次數(shù)，每月檢測一次。

1.3.單向流（包括局部百級層流罩、FFU、潔凈層流車等）風(fēng)速，每月檢測一次。

1.4.單向流（包括局部百級層流罩、FFU、潔凈層流車等）流型，每年測試一次。

1.5.潔凈室（區(qū)）高效過濾器泄漏，每半年測試一次。

1.6.潔凈室（區(qū)）懸浮粒子，每月檢測一次。

1.7.潔凈廠房**臭氧濃度，每季度檢測一次。

1.8.生產(chǎn)廠房噪聲、照度，每年檢測一次。

2.潔凈室（區(qū)）溫濕度、壓差監(jiān)測

2.1.生產(chǎn)車間監(jiān)測溫濕度、壓差：車間由班長檢查各功能間溫濕度、壓差，根據(jù)現(xiàn)場溫濕度、壓差儀表指示記錄生產(chǎn)前、生產(chǎn)過程中的溫濕度、壓差值；

2.2.集中監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)測溫濕度、壓差：由公用工程車間空調(diào)監(jiān)控值班人員監(jiān)視電子溫濕度、壓差記錄，每四小時記錄一次。

2.3.無集中監(jiān)控的空調(diào)系統(tǒng)在非生產(chǎn)狀態(tài)下監(jiān)測：由公用工程車間空調(diào)機長對空調(diào)機組總送風(fēng)、總回風(fēng)溫濕度、總送風(fēng)正壓進行監(jiān)測，每天至少監(jiān)測兩次，上下午各一次。

2.4.標(biāo)準(zhǔn)

－溫濕度：無特殊要求，溫度控制在18~26℃，相對濕度控制在45~65%；

－壓差：空氣潔凈度潔凈級別不同的相鄰房間之間的靜壓差應(yīng)大于5帕；潔凈區(qū)室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10帕；空氣潔凈度潔凈級別相同的區(qū)域產(chǎn)塵量大、產(chǎn)熱、產(chǎn)濕的操作室應(yīng)保持相對負壓，關(guān)鍵房間應(yīng)保持相對正壓，具體情況應(yīng)綜合考慮。

2.5.記錄

－《溫濕度、壓差監(jiān)測記錄》包括監(jiān)測時間和監(jiān)測數(shù)據(jù)，以及對于數(shù)據(jù)的判斷，并確認出現(xiàn)異常后恢復(fù)的時間，相關(guān)監(jiān)測部門在記錄中須注明；

－無集中監(jiān)控的空調(diào)系統(tǒng)在非生產(chǎn)狀態(tài)下監(jiān)測的總送風(fēng)、總回風(fēng)溫濕度及總送風(fēng)正壓由公用工程車間空調(diào)機長記錄在相應(yīng)的空調(diào)機組運行記錄中。

3.潔凈室（區(qū)）功能間換氣次數(shù)檢測

3.1.風(fēng)量測定

3.1.1.直接測量法

3.1.1.1.使用風(fēng)量罩進行檢測，檢測時直接將套帽套住送風(fēng)口，再從儀表上直接讀出檢測的風(fēng)量數(shù)據(jù)。

3.1.1.2.使用風(fēng)量罩時需根據(jù)送風(fēng)口尺寸選擇好具體大小的罩子，必須保證風(fēng)量罩套帽全部套住送風(fēng)口。

3.1.1.3.檢測不規(guī)則風(fēng)口風(fēng)量時，如套帽無法罩住風(fēng)口，可采取分塊檢測然后疊加計算。

3.1.2.間接測量法

3.1.2.1.使用風(fēng)速儀檢測送風(fēng)口斷面平均風(fēng)速，再乘以該送風(fēng)口面積可得出送風(fēng)量。此方法較直接測量法誤差大，故一般建議使用直接法測量。

3.1.2.2.平均風(fēng)速按如下公式計算

v＝

v1＋v2＋……＋vn

n

m/s



式中：vi－某一檢測點的風(fēng)速（i＝1，2，……，n），m/s；

n－總檢測點數(shù)，個。

3.1.2.3.檢測點布置

3.1.2.3.1.檢測點要求離送風(fēng)口下方3～5cm處均勻分布，如下圖“五點法”。

矩形風(fēng)口

為檢測點





3.1.2.4.風(fēng)量按如下公式計算

L＝3600Fv  m3/h

式中：F－風(fēng)口的面積，m2；

v－測得的風(fēng)口平均風(fēng)速，m/s。

3.2.潔凈室（區(qū)）功能間換氣次數(shù)計算按如下公式

N＝

L1＋L2＋……＋Ln

V

次/h



式中：Li－功能間某送風(fēng)口風(fēng)量（i＝1，2，……，n），m3/h；

V－房間體積，m3

3.3.檢測注意事項

－檢測風(fēng)量前應(yīng)確保空調(diào)系統(tǒng)正常運行，功能間回風(fēng)閥正常開啟，直排系統(tǒng)正常運行；空調(diào)機組運行頻率、風(fēng)閥開啟度、室內(nèi)背壓（回風(fēng)、直排影響）均對送風(fēng)量有影響。

－使用風(fēng)速儀檢測風(fēng)速時應(yīng)確保葉輪或熱球正對風(fēng)向，手持儀器應(yīng)平穩(wěn)，閱讀數(shù)據(jù)必須待顯示穩(wěn)定后方可閱讀。

3.4.結(jié)果評定

3.4.1.換氣次數(shù)判定依據(jù)：10000級≥25次/小時；100000級≥15次/小時；300000級≥12次/小時；

3.4.2.經(jīng)系統(tǒng)調(diào)整后檢測風(fēng)量如低于初始測定風(fēng)量值的80％時，可更換高效過濾器。

3.5.報告

－直接法檢測風(fēng)量出具的《換氣次數(shù)檢測報告》應(yīng)包含直接法風(fēng)量檢測記錄及結(jié)果評定；

－間接法檢測風(fēng)量出具的《換氣次數(shù)檢測報告》包含風(fēng)速測試記錄（記錄在《風(fēng)速測試報告》中，不填寫結(jié)果評定）、風(fēng)量計算結(jié)果以及結(jié)果評定；

4.單向流（包括局部百級層流罩、FFU、潔凈層流車等）風(fēng)速檢測

4.1.風(fēng)速檢測遵循3.1.2、3.3相關(guān)條款；

4.2.風(fēng)速判定標(biāo)準(zhǔn)：各測試點風(fēng)速均要求在0.36m/s～0.54 m/s之間。

4.3.報告：《風(fēng)速測試報告》包含風(fēng)速檢測記錄及結(jié)果評定；

5.單向流（包括局部百級層流罩、FFU、潔凈層流車等）流型測試

5.1.測試條件

－測試前應(yīng)確保層流罩能正常運轉(zhuǎn)，風(fēng)速合格；

－測試時由于對環(huán)境會造成破壞，所以應(yīng)在非生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試；

－測試前應(yīng)確保背景環(huán)境處于正常運行狀態(tài)即風(fēng)量平衡正常，層流車可以不強求。

5.2.測試方法

5.2.1.懸掛絲帶測試法

5.2.1.1.操作方法

－停止運行層流罩；

－將絲帶垂直懸掛于層流罩下，并固定于孔板之上，要求均勻分布，間距為20～25cm，長度接近操作平臺，此時絲帶可自然下垂；

－開啟層流罩，觀察絲帶運動情況；

－正常運行5分鐘后使用相機或攝像機記錄測試情況，要求至少三個方向。

5.2.1.2.結(jié)果判定

－絲帶橫向運動幅度小，相互間無碰撞，此現(xiàn)象可判定流型合格；

－絲帶橫向運動幅度大，相互間有碰撞，越靠近層流上方相碰證明流型越不符合要求，此現(xiàn)象判定流型不合格。

5.2.1.3.相關(guān)說明

－此方法局限于垂直流，不適用于水平流，且層流下有障礙物時不易測試；

－絲帶材質(zhì)要求質(zhì)輕而有韌性，且不易產(chǎn)生靜電；

5.2.2.煙霧示蹤測試法

5.2.2.1.操作方法

－將煙霧發(fā)生裝置調(diào)試運轉(zhuǎn)正常，靠近層流上方開始發(fā)煙；

－觀察煙所形成的流線是否產(chǎn)生回流；

－在障礙物上方發(fā)煙，觀察障礙物周圍是否產(chǎn)生回流；

－使用相機或攝像機記錄測試情況。

5.2.2.2.結(jié)果判定

－產(chǎn)生回流現(xiàn)象判定流型不合格；

－未產(chǎn)生回流現(xiàn)象判定流型合格。

5.2.2.3.相關(guān)說明

－煙霧發(fā)生裝置可使用煙霧筆、煙霧發(fā)生器、DOP氣溶膠發(fā)生器等儀器；

－所有產(chǎn)生的煙霧應(yīng)帶有顏色便于觀察，且必須得到證實無害于整個環(huán)境；

5.3.記錄與報告

－流型測試記錄以電子文件形式存檔；

－《單向流流型測試報告》中需標(biāo)出單向流與操作臺等設(shè)施的位置及測試不符合點、描述測試結(jié)果及進行結(jié)果判定；

6.潔凈室（區(qū)）高效過濾器泄漏測試

6.1.檢漏測試方法

－“DOP”法：測試塵源使用0.3μm單分散相“DOP”液滴（對DOP液體加熱成蒸汽，蒸汽在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3μm左右的霧狀“DOP”顆粒進入風(fēng)道），采用光散射式光度計作為測試儀器，通過檢測過濾器前后“DOP”液滴濃度判定過濾器對DOP顆粒的過濾效率。

－粒子計數(shù)掃描法或*易穿透粒徑法（MPPS法）：測試塵源使用0.1μm～0.3μm間多分散相的“DOP”液滴（使用Laskin噴管即用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，飛濺產(chǎn)生的液滴）或者直接使用大氣源，采用激光粒子計數(shù)器對相應(yīng)粒徑范圍內(nèi)的粒子進行檢測，分別計算其計數(shù)效率。

6.2.“DOP”法測試步驟

－將氣溶膠發(fā)生器與高效送風(fēng)靜壓箱的接口相連，開啟氣溶膠發(fā)生器（單分散相），直至運行穩(wěn)定后。可以調(diào)節(jié)氣溶膠發(fā)生器發(fā)生量來控制濃度，要求穩(wěn)定在10～20μg/l間，并且持續(xù)發(fā)生，保持上游100％濃度；

－拆卸高效送風(fēng)口散流器，在高效風(fēng)口下方約2～4cm處使用光度計以3～5cm/s的速度進行掃描，掃描范圍包括高效四周密封處；

－下游光度計可設(shè)置高濃度報警值，當(dāng)掃描檢測出現(xiàn)濃度超過設(shè)定值（要求設(shè)定為10－3μg/l）光度計會報警提示有漏點，標(biāo)識漏點具體位置，記錄下上游檢測濃度、下游該漏點的檢測濃度；

－效率及穿透率計算：

α＝

上游濃度值

下游濃度值

×100％

K＝（1－α）×100％



式中：α－高效過濾器效率，％；

      K－高效過濾器穿透率，％。

6.3.“DOP”塵源粒子計數(shù)掃描法測試步驟

－將氣溶膠發(fā)生器與高效送風(fēng)靜壓箱的接口相連，開啟氣溶膠發(fā)生器（多分散相），直至運行穩(wěn)定；

－接好所有采樣計數(shù)裝置，調(diào)節(jié)好上游稀釋器稀釋倍數(shù)；

－拆卸高效送風(fēng)口散流器，在高效風(fēng)口下方約2～4cm處使用激光塵埃粒子計數(shù)器對準(zhǔn)高效及四周密封處的檢測點，采樣計數(shù)裝置的上下游采樣閥會控制塵埃粒子計數(shù)器間隔對上下游進行采樣計數(shù)，可以按要求設(shè)置采樣通道數(shù)及粒徑；

－效率及穿透率計算：

α＝

上游計數(shù)值

下游計數(shù)值

×100％

K＝（1－α）×100％



式中：α－高效過濾器效率，％；

K－高效過濾器穿透率，％。

－計算每點的效率或穿透率值。

6.4.結(jié)果評定

－對于A類高效計算后如果某點穿透率＞0.1％，則該高效存在漏點；

－對于B類高效計算后如果某點穿透率＞0.01％，則該高效存在漏點；

－對于C類高效計算后如果某點穿透率＞0.002％，則該高效存在漏點；

－對于D類高效計算后如果某點穿透率＞0.003％，則該高效存在漏點（**于“DOP”塵源粒子計數(shù)掃描法且粒徑選擇0.1μm）。

6.5.相關(guān)說明

－氣溶膠發(fā)生量應(yīng)適當(dāng)，濃度過高會凝結(jié)從而對高效造成污染，降低高效壽命，可以采樣稀釋器進行控制；

－“DOP”僅是檢測方法的代表，其氣溶膠并非特指DOP（鄰苯二甲酸二辛脂），在選擇氣溶膠時應(yīng)注意選擇無毒害產(chǎn)品；

6.6.大氣塵源粒子計數(shù)掃描法測試步驟

使用塵埃粒子計數(shù)器，在空調(diào)系統(tǒng)正常運行時，將塵埃粒子計數(shù)器放在距離被檢過濾器下游側(cè)2-3cm處，以5cm/s的速度移動；對被檢過濾器整個斷面，特別是安裝接縫處進行移動掃描，當(dāng)檢測數(shù)據(jù)突然增大時，應(yīng)停留作測量，測量確定為數(shù)據(jù)增大則判定高效有泄漏。

6.7.報告

－《高效檢漏測試報告》需標(biāo)明測試方法，測試有泄漏的高效過濾器在報告中應(yīng)詳細記錄上、下游濃度，計算穿透率并進行結(jié)果評定以及整改建議；無泄漏的高效過濾器只進行結(jié)果評定；

－使用大氣塵源粒子計數(shù)掃描法檢漏只進行結(jié)果評定與整改建議。

7.潔凈室（區(qū)）懸浮粒子檢測

7.1.檢測儀器要求

7.1.1.檢測采用計數(shù)濃度法，要求儀器采用光散射原理粒子計數(shù)器。

7.1.2.儀器具備0.5μｍ、5μｍ兩個檢測通道。

7.1.3.儀器應(yīng)有自校正功能，且處于檢定合格期內(nèi)。

7.2.檢測方法

7.2.1.檢測條件

－溫度應(yīng)控制在18℃～24℃，濕度應(yīng)控制在45％～65%，溫濕度超過上限范圍檢測環(huán)境的塵埃粒子濃度將增大，影響檢測值。

－壓差應(yīng)符合要求，相對低級別潔凈室（區(qū)）大于5Pa，相對一般區(qū)大于10Pa，檢測時壓差不宜太高，壓差越高檢測環(huán)境的塵埃粒子濃度將越少，檢測結(jié)果應(yīng)評估壓差變動后是否符合規(guī)定值。

－檢測之前應(yīng)確保空調(diào)系統(tǒng)處于正常運行狀態(tài)。